{"product_id":"siasun-tss-industrial-robot","title":"SIASUN TSS-3000 EFEM Wafer-Handling-Roboter","description":"\u003cp\u003eDer SIASUN TSS-3000 ist ein EFEM (Equipment Front End Module) für die Halbleiterfertigung und dient als kontrollierte Schnittstelle zwischen dem Materialtransportsystem einer Fab und der internen Transferumgebung eines Prozesswerkzeugs. Er koordiniert das Laden, Ausrichten und Übergeben von Wafern und trägt zugleich zur Kontaminationskontrolle und zur standardisierten, SEMI-konformen Anlagenkommunikation bei.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003eDer auf eine kleine Stellfläche ausgelegte TSS-3000 nutzt einen Dual-Arm-Transferroboter mit externer Achse, um Wafer manuell oder in Abstimmung mit dem Fabriktransport wie Overhead-Systemen zu bewegen und so eine hocheffiziente, wiederholgenaue Waferhandhabung am Werkzeugfrontend zu unterstützen. Er eignet sich für Reinraum-Wafer-Fab-Umgebungen, in denen standardisierte Schnittstellen und ein reduzierter Bedienerkontakt mit kritischen Substraten gefordert sind. Kontaktieren Sie uns für Preise und Verfügbarkeit.\u003c\/p\u003e","brand":"SIASUN","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":49736052146413,"sku":"SIASUN-TSS-3000","price":0.0,"currency_code":"EUR","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0803\/2613\/1949\/files\/tss3000_9b42a0a3-03a5-4334-9c7e-dc0dc1e7b415.jpg?v=1774885283","url":"https:\/\/robotixmarket.at\/products\/siasun-tss-industrial-robot","provider":"Robotix Market","version":"1.0","type":"link"}